产品总体要求：采用先进的镀膜工艺,可靠性高，有自己的特色，设计出的产品要能适应工业生产的要求，设备美观、性能可靠。产品主要应用领域是小型塑化零部件表面表面处理。

主要参数

项目	ZDJ-F1500
极限压力　Pa	≤1×10-3Pa（空载）
静态漏放气率　Pa.L/s	≤0.5 Pa.L/s
二次恢复真空时间　min	≤7 min
低真空抽气时间　min	≤6 min
工作真空度　Pa	2×10-2Pa
磁控靶功率　kVA	120kVA  带载1000V
离子轰击源功率　kVA	25kVA
设备总功率　kVA	200kVA
总需水量m3/h	8　 m3/h
气源进口气压　M Pa	≥0.6 M Pa
总重量　t	主机14t；
外形尺寸　m	主机：7.2×5.4×3.33m 工件转盘：φ750mm
工件架转速　r/min	0~6　r/min